Méthode de collage d'un silicium et d'un verre contenant du sodium, superposés et soumis à une tension tout en étant chauffés. Utilisée notamment pour l'encapsulation des MEMS.
Nom japonais: 陽極接合
« Soudure anodique » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont MEMS et capteurs.
Domaine: MEMS et capteurs
Réponse : A. Soudure anodique
Dans la soudure anodique, un verre borosilicaté contenant du sodium (Pyrex, etc.) et le silicium sont superposés et chauffés à 300 à 450 ℃, et une tension de quelques centaines à environ 1000 V est appliquée, le verre étant au potentiel négatif. Les ions sodium du verre migrent, une forte attraction électrostatique apparaît à l’interface et des liaisons chimiques avec l’oxygène forment une jonction hermétique solide. L’utilisation d’un verre au coefficient de dilatation thermique proche de celui du silicium limite le gauchissement ; cette technique sert pour les capteurs de pression et l’encapsulation.
Dans la soudure anodique, un verre borosilicaté contenant du sodium (Pyrex, etc.) et le silicium sont superposés et chauffés à 300 à 450 ℃, et une tension de quelques centaines à environ 1000 V est appliquée, le verre étant au potentiel négatif.
Comment s’appelle la méthode d’assemblage, utilisée notamme…MEMS Accéléromètre Capteur à effet Hall Détection capacitive Effet piézorésistif Force de Coriolis Gravure de couche sacrificielle Gyroscope Procédé Bosch (Deep RIE) Stiction (adhérence)