MEMS et capteurs
Quelle description de l’effet piézorésistif, utilisé notamment dans les capteurs de pression à semi-conducteur, est correcte ?
- AEffet par lequel la résistivité électrique d’un matériau varie sous l’application d’une contrainte mécanique
- BEffet par lequel une tension apparaît sous l’effet de la lumière
- CEffet par lequel la direction du courant est déviée par un champ magnétique
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Réponse : A. Effet par lequel la résistivité électrique d’un matériau varie sous l’application d’une contrainte mécanique
Sous contrainte, la structure de bandes du silicium cristallin est modifiée et sa résistivité varie plusieurs dizaines de fois plus que celle d’une jauge de déformation métallique (effet piézorésistif). En intégrant quatre résistances sur le bord d’une fine membrane qui se déforme sous la pression et en détectant la variation de résistance avec un pont de Wheatstone, on convertit la pression en signal électrique. Ces capteurs servent pour la pression des moteurs et des pneus automobiles, les tensiomètres, les baromètres, etc. ; la compensation en température est la clé de la conception.