Comment appelle-t-on les ondulations très douces de la surface du wafer, de longueur d'onde de l'ordre de quelques mm et de hauteur de quelques dizaines de nm ?

Réponse : A. Nanotopographie

La nanotopographie désigne des ondulations douces d'une étendue latérale d'environ 0.2 à 20 mm et d'une hauteur de quelques nm à quelques dizaines de nm. Même si elles sont assez douces pour ne pas poser problème dans la profondeur de champ de l'exposition, lors de la planarisation de couches minces par CMP, le tampon ne peut pas les suivre parfaitement, ce qui provoque des variations locales d'épaisseur. Elles sont limitées par les conditions de polissage et de polissage double face, et strictement maîtrisées pour les wafers destinés aux composants de pointe.