웨이퍼 표면에 있는, 파장이 수 mm 정도로 매우 완만하고 높이가 수십 nm 정도인 요철을 무엇이라 부르는가?

정답: A. 나노토포그래피

나노토포그래피는 가로 방향 범위가 0.2~20 mm 정도이고 높이가 수~수십 nm인 완만한 기복입니다. 노광의 초점 범위에서는 문제가 되지 않을 만큼 완만해도, CMP로 박막을 평탄화할 때 패드가 이 기복을 따라가지 못해 막 두께가 위치에 따라 편차가 생기는 원인이 됩니다. 연마와 양면 연마의 조건으로 억제하며, 첨단 디바이스용 웨이퍼에서는 엄격하게 관리됩니다.

• A. 옳습니다. mm 정도 주기의 완만한 수십 nm 기복입니다.
• B. 노치는 웨이퍼 외주의 홈입니다.
• C. 표면 거칠기는 더 짧은 주기(nm~µm 정도)의 미세한 요철입니다.