晶圓表面上，波長約數mm、高度約數十nm的非常和緩的凹凸，稱為什麼？

正確答案：A. 奈米形貌(nanotopography)

奈米形貌是橫向延伸約0.2〜20 mm、高度數〜數十nm的和緩起伏。即使和緩到在曝光的焦點範圍內不成問題，以CMP平坦化薄膜時，拋光墊無法完全貼合這種起伏，會成為膜厚因位置而不均的原因。可藉由拋光與雙面拋光的條件加以抑制，在先進元件用的晶圓上會被嚴格管控。

• A. 正確。是週期約mm、和緩的數十nm起伏。
• B. 缺口是晶圓外周的切口。
• C. 表面粗糙度是週期更短(約nm〜µm)的細微凹凸。