Siliciumwafers
Wat is de juiste belangrijkste reden waarom siliciumwafers rond zijn?
- AOmdat vierkante chips er gemakkelijk op te plaatsen zijn
- BOmdat belichting alleen met een ronde vorm mogelijk is
- COmdat het monokristal onder rotatie wordt getrokken, waardoor de ingot cilindrisch wordt
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Omdat het monokristal onder rotatie wordt getrokken, waardoor de ingot cilindrisch wordt
Bij de CZ-methode worden zaadkristal en kroes in tegengestelde richting geroteerd terwijl het kristal uit de smelt wordt getrokken om de temperatuurverdeling in de omtrekrichting gelijkmatig te maken, zodat de ingot cilindrisch is. Omdat die in dunne plakken wordt gesneden, zijn de wafers rond. Bij het plaatsen van vierkante chips gaat enkele procenten aan de rand verloren, maar deze vorm wordt gebruikt vanwege de manier waarop het kristal wordt gemaakt en omdat processen zoals coaten onder rotatie en CMP geschikt zijn voor een ronde vorm.