Siliziumwafer

Welche Bedingungen werden beim Ziehen hauptsächlich eingestellt, um den Durchmesser eines Silizium-Einkristall-Ingots konstant zu halten?

  1. AZiehgeschwindigkeit und Schmelztemperatur
  2. BFarbe des Ingots
  3. CHelligkeit der Beleuchtung der Fabrik
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Antwort: A. Ziehgeschwindigkeit und Schmelztemperatur

Beim CZ-Verfahren wird der helle Ring (Meniskus) an der Grenze zwischen Kristall und Schmelze mit einer Kamera überwacht, aus seinem Durchmesser der Kristalldurchmesser bestimmt und über Ziehgeschwindigkeit und Heizleistung (Schmelztemperatur) automatisch nachgeregelt, sodass der Durchmesser konstant bleibt. Schnelles Ziehen macht den Kristall dünner, langsames dicker. Da die Ziehgeschwindigkeit über V/G auch die Art der eingebauten Punktdefekte beeinflusst, ist eine präzise Regelung nötig, die Durchmesser und Defekte gemeinsam berücksichtigt.

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