Comment appelle-t-on le contrôle qui, sur un wafer ayant terminé le front-end, mesure la tension de seuil, la résistance carrée, etc. des TEG pour vérifier que le procédé est conforme ?

Réponse : A. WAT (test d'acceptation wafer) / test paramétrique

Le WAT est un contrôle qui mesure, à l'issue du front-end, les paramètres électriques des TEG (tension de seuil, courant à l'état passant, résistance carrée, résistance de contact, etc.). Les wafers hors spécification ne passent pas aux étapes suivantes, et les données servent aussi à la surveillance et à l'amélioration du procédé ainsi qu'à la validation des modèles de composants. En fonderie, il sert également de preuve de qualité lors de la livraison des wafers au client. Son objectif diffère de celui des tests examinant le fonctionnement de la puce.