Wie heißt die Prüfung an Wafern nach dem Front-End-Prozess, bei der Einsatzspannung, Schichtwiderstand u. Ä. von TEGs gemessen werden, um zu bestätigen, dass der Prozess spezifikationsgerecht verlaufen ist?

Antwort: A. WAT (Wafer Acceptance Test) / Parametertest

Der WAT ist eine Prüfung nach Abschluss des Front-End-Prozesses, bei der elektrische Parameter von TEGs (Einsatzspannung, Einschaltstrom, Schichtwiderstand, Kontaktwiderstand usw.) gemessen werden. Wafer außerhalb der Spezifikation gehen nicht in spätere Prozesse, und die Daten dienen auch der Prozessüberwachung und -verbesserung sowie der Verifikation von Bauelementmodellen. Bei Foundries sind sie auch ein Qualitätsnachweis bei der Übergabe der Wafer an Kunden. Der Zweck unterscheidet sich vom Test der Chipfunktion.