Welk materiaal met hoge zuiverheid en uitstekende hittebestendigheid wordt veel gebruikt voor reactiebuizen van ovens en voor hulpmiddelen waarop wafers worden geplaatst?

Antwoord: B. Kwartsglas

Kwartsglas is zeer zuiver, heeft een hoog verwekingspunt van ca. 1600 °C en een zeer kleine thermische uitzettingscoëfficiënt van ca. 0,5×10⁻⁶ /K, zodat het ook bij snelle temperatuurwisselingen niet gemakkelijk breekt, en het is bestand tegen veel chemicaliën. Daarom wordt het gebruikt voor reactiebuizen van ovens, waferboten en smeltkroezen voor de CZ-methode. Voor onderdelen die bij nog hogere temperatuur sterkte of een lange levensduur vereisen, wordt ook SiC gebruikt. Polyetheen is niet hittebestendig en koper veroorzaakt metaalverontreiniging.