プロセス材料(ガス・薬液) 熱処理炉の反応管や、ウエハを載せる治具に広く使われる、高純度で耐熱性に優れた材料はどれか。 Aポリエチレン B石英ガラス C銅 答えと解説を見る 正解：B. 石英ガラス 石英ガラスは、高純度で耐熱性があり、熱膨張が小さく、多くの薬品にも強いため、熱処理炉の反応管、ウエハボート、CZ法のるつぼなどに使われます。より高温での強度が必要な部材には、SiCなども使われます。