Prozessmaterialien (Gase, Chemikalien)

Welches hochreine, hitzebeständige Material wird breit für Reaktionsrohre von Wärmebehandlungsöfen und Wafer tragende Vorrichtungen verwendet?

  1. APolyethylen
  2. BQuarzglas
  3. CKupfer
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Antwort: B. Quarzglas

Quarzglas ist ein hochreines Material mit einem hohen Erweichungspunkt von etwa 1600 ℃ und einem sehr kleinen Wärmeausdehnungskoeffizienten von etwa 0.5×10⁻⁶ /K, sodass es auch bei plötzlichen Temperaturänderungen kaum bricht, und es ist gegen viele Chemikalien beständig. Daher wird es für Reaktionsrohre von Wärmebehandlungsöfen, Waferboote und Tiegel des CZ-Verfahrens verwendet. Für Bauteile, die bei höheren Temperaturen Festigkeit und lange Lebensdauer benötigen, wird auch SiC eingesetzt. Polyethylen ist nicht hitzebeständig, Kupfer verursacht metallische Kontamination.

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