Matériaux de procédé (gaz et produits chimiques)
Quelle précaution de manipulation des composés organométalliques comme le triméthylgallium (TMGa), précurseurs de la MOCVD, est correcte ?
- ANi toxiques ni réactifs, ils se manipulent sans danger
- BIls émettent un fort rayonnement
- CIls réagissent violemment avec l'air et l'eau et risquent de s'enflammer spontanément
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Réponse : C. Ils réagissent violemment avec l'air et l'eau et risquent de s'enflammer spontanément
Les composés organométalliques comme le triméthylgallium ou le triméthylaluminium s'enflamment spontanément à l'air et réagissent violemment avec l'eau. On les place dans un récipient à température constante appelé bulleur, et l'on y fait passer de l'hydrogène ou de l'azote pour entraîner la vapeur. La pression de vapeur étant fixée par la température, le débit délivré se contrôle par la température du récipient et le débit de gaz. Ils n'émettent pas de rayonnement et ne se manipulent pas sans danger. Ils servent à la MOCVD du GaN et du GaAs.
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