Oxydation et diffusion
Quelle est la définition généralement retenue de la « profondeur de jonction » d’une jonction PN ?
- ALa profondeur, depuis la surface, de la position où la concentration de dopants est maximale
- BLa profondeur à laquelle la concentration des dopants diffusés est égale à la concentration de dopants initiale du substrat
- CLa moitié de l’épaisseur de la plaquette
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Réponse : B. La profondeur à laquelle la concentration des dopants diffusés est égale à la concentration de dopants initiale du substrat
La concentration des dopants introduits depuis la surface diminue avec la profondeur et devient, à une certaine profondeur, égale à la concentration des dopants de type opposé présents à l’origine dans le substrat. À cette profondeur, la concentration nette de dopants est nulle et le type de conduction s’inverse ; on parle de profondeur de jonction. Les extensions de source et de drain des transistors fins exigent des jonctions peu profondes, d’environ 10 à 20 nm, importantes pour limiter les effets de canal court.