Lors de la formation par oxydation sèche d’oxydes minces de quelques dizaines de nm ou moins, quel écart au modèle de Deal-Grove est connu ?

Réponse : A. L’oxydation initiale est plus rapide que ne le prédit le modèle

Le modèle de Deal-Grove décrit bien la croissance des oxydes épais, mais en oxydation sèche, dans le régime initial où l’épaisseur est de quelques dizaines de nm ou moins, l’oxydation réelle est plus rapide que ne le prédit le modèle. On évoque comme causes d’autres chemins de l’oxydant à travers le film mince et l’effet des contraintes près de l’interface. Le modèle corrige ce régime par une épaisseur initiale (τ, équivalent à environ 20 nm), mais fixer l’épaisseur d’un oxyde de grille de quelques nm exige une mise au point des conditions par mesures réelles.