Wie heißt bei LOCOS das Phänomen, dass Oxid wie ein Vogelschnabel unter den Rand der Nitridmaske eindringt?

Antwort: C. Bird's Beak (Vogelschnabel)

Bei LOCOS werden mit Nitrid bedeckte Bereiche nicht oxidiert, doch das Oxidationsmittel diffundiert seitlich durch das Pad-Oxid unter dem Nitrid, und die Oxidation schreitet voran, sodass das Oxid wie ein Vogelschnabel eindringt (Bird's Beak). Das Eindringen kann auf einer Seite etwa die Hälfte der Oxiddicke erreichen und verringert die effektive Fläche der Bauelemente; LOCOS wurde daher etwa ab der 0,25-µm-Generation durch STI mit Gräben ersetzt. Das Pad-Oxid ist nötig, um das Silizium vor der Spannung des Nitrids zu schützen.