Pourquoi les plaquettes SOI sont-elles souvent utilisées dans la fabrication des MEMS ?

Réponse : B. La couche de silicium supérieure peut servir de structure et l’oxyde enterré de couche d’arrêt de gravure ou de couche sacrificielle

Dans une plaquette SOI, la couche supérieure de silicium monocristallin (quelques µm à quelques dizaines de µm) a une épaisseur précise et uniforme ; elle peut servir directement de matériau pour les structures mobiles, sans le problème de contrainte résiduelle du polysilicium. La gravure profonde s’arrête précisément sur l’oxyde enterré, et l’élimination de cet oxyde à l’acide fluorhydrique libère la structure, ce qui est pratique pour fabriquer des gyroscopes et des MEMS optiques. En contrepartie, ces plaquettes sont plus chères que les plaquettes de silicium ordinaires.