MEMS et capteurs
Quel est le principe de détection d’un capteur de gaz à semi-conducteur utilisant par exemple l’oxyde d’étain ?
- AÉmission de lumière sous l’effet de la température du gaz
- BModification d’un son par le gaz
- CVariation de la résistance électrique du matériau sensible due à l’adsorption et à la réaction du gaz cible à sa surface
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Réponse : C. Variation de la résistance électrique du matériau sensible due à l’adsorption et à la réaction du gaz cible à sa surface
Dans un capteur de gaz à semi-conducteur, l’oxygène s’adsorbe à la surface de l’oxyde d’étain (semi-conducteur de type n) chauffé à environ 300 à 400 ℃ et capte des électrons, ce qui crée des barrières aux joints de grains et élève la résistance. En présence de gaz combustibles ou réducteurs, ceux-ci réagissent avec l’oxygène adsorbé, les électrons sont restitués et la résistance diminue. Mis au point au Japon dans les années 1960, ce capteur est largement utilisé dans les détecteurs de fuite de gaz. Bon marché et sensible, il distingue mal les types de gaz.