MEMS et capteurs

Quel est le principe de détection d’un capteur de gaz à semi-conducteur utilisant par exemple l’oxyde d’étain ?

  1. AÉmission de lumière sous l’effet de la température du gaz
  2. BModification d’un son par le gaz
  3. CVariation de la résistance électrique du matériau sensible due à l’adsorption et à la réaction du gaz cible à sa surface
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : C. Variation de la résistance électrique du matériau sensible due à l’adsorption et à la réaction du gaz cible à sa surface

Dans un capteur de gaz à semi-conducteur, l’oxygène s’adsorbe à la surface de l’oxyde d’étain (semi-conducteur de type n) chauffé à environ 300 à 400 ℃ et capte des électrons, ce qui crée des barrières aux joints de grains et élève la résistance. En présence de gaz combustibles ou réducteurs, ceux-ci réagissent avec l’oxygène adsorbé, les électrons sont restitués et la résistance diminue. Mis au point au Japon dans les années 1960, ce capteur est largement utilisé dans les détecteurs de fuite de gaz. Bon marché et sensible, il distingue mal les types de gaz.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur MEMS et capteurs

  1. Que détecte le capteur utilisé pour la boussole électronique d’un smartphone ?
  2. Quelle information peut-on estimer à partir des variations de pression mesurées par le capteur de pression atmosphérique MEMS d’un smartphone ?
  3. Pourquoi les plaquettes SOI sont-elles souvent utilisées dans la fabrication des MEMS ?
  4. Comment s’appelle la méthode d’assemblage, utilisée notamment pour l’encapsulation des MEMS, qui joint le silicium et le verre en les chauffant sous tension ?
  5. Quel dispositif MEMS est utilisé pour balayer un faisceau laser, notamment dans les LiDAR automobiles ?

Comparatifs sur ce thème