Quelle est la principale raison de l’encapsulation sous vide de la partie mobile des gyroscopes MEMS et dispositifs similaires ?

Réponse : A. Réduire la résistance de l’air (amortissement) et maintenir une grande amplitude de vibration afin d’augmenter la sensibilité

Dans un gyroscope MEMS vibrant, plus la partie mobile vibre avec une amplitude grande et stable, plus le signal dû à la force de Coriolis est fort et plus la sensibilité est élevée. L’air atténue la vibration par amortissement ; on scelle donc la partie MEMS sous vide par collage de plaquettes, ce qui porte le facteur Q de résonance à plusieurs milliers ou dizaines de milliers. À l’inverse, un accéléromètre nécessite un amortissement modéré et est rempli de gaz. La pression d’encapsulation est choisie selon l’application.