Implantation ionique
Quelle combinaison correspond aux deux mécanismes par lesquels les ions implantés perdent leur énergie dans la matière ?
- ALes collisions avec les noyaux (arrêt nucléaire) et l'interaction avec les électrons (arrêt électronique)
- BLa conduction thermique et le rayonnement
- CLa résistance électrique et la magnétorésistance
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Réponse : A. Les collisions avec les noyaux (arrêt nucléaire) et l'interaction avec les électrons (arrêt électronique)
La perte d'énergie des ions se divise en arrêt nucléaire, dû aux collisions élastiques avec les noyaux, et arrêt électronique, dû à l'excitation et à l'ionisation des électrons de la matière. L'arrêt nucléaire domine pour les ions lourds et les basses énergies, l'arrêt électronique pour les ions légers et les hautes énergies ; pour le bore dans le silicium, par exemple, l'arrêt électronique l'emporte au-delà d'une dizaine de keV. L'arrêt nucléaire est la principale cause des dommages cristallins ; ces processus sont calculés par la théorie LSS ou par des simulations comme SRIM.