Quel élément a été étudié et utilisé comme impureté de type p plus lourde que le bore pour réaliser un profil rétrograde abrupt dans le canal des nMOS ?

Réponse : A. Indium

L'indium est un accepteur du groupe III de masse 115, bien plus lourd que le bore (masse 11) et diffusant lentement ; il s'arrête peu profondément et conserve un profil abrupt après traitement thermique. Il a donc été utilisé pour les profils de canal rétrogrades, faiblement dopés en surface et fortement un peu plus en profondeur, et pour les halos. Cependant, son niveau accepteur profond (environ 0,16 eV) ne s'ionise que partiellement à température ambiante et sa solubilité limite est faible, ce qui restreint son usage.