Wie heißt das Verfahren, in einen bereits p-leitenden Bereich Dotierstoff vom n-Typ zu implantieren, um die Netto-Dotierkonzentration zu senken oder den Leitungstyp umzukehren?

Antwort: C. Counter-Doping (Kompensation)

Werden Dotierstoffe vom entgegengesetzten Leitungstyp überlagert implantiert, heben sich Donatoren und Akzeptoren gegenseitig auf (Kompensation), die Netto-Ladungsträgerkonzentration sinkt, und bei großer Menge kehrt sich der Leitungstyp um. Es wird verwendet, um die Konzentration nur an der Kanaloberfläche zu senken und so die Schwellenspannung einzustellen oder vergrabene Kanäle zu erzeugen. Da jedoch die Gesamtmenge an Dotierstoff steigt und die Streuung an ionisierten Störstellen zunimmt, sinkt die Beweglichkeit leicht, und es wird auch zur Ursache von Streuungen.