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Implantation ionique

Quelle unité est couramment utilisée pour exprimer l'énergie d'accélération en implantation ionique ?

  1. AΩ (ohm)
  2. BkeV (kiloélectronvolt)
  3. CW (watt)
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Réponse : B. keV (kiloélectronvolt)

L'énergie d'implantation s'exprime en électronvolts, 1 eV étant l'énergie acquise par un ion monochargé accéléré sous 1 V. La gamme courante va de quelques centaines d'eV à quelques centaines de keV, et jusqu'à plusieurs MeV en implantation haute énergie. 1 keV vaut environ 1,6×10⁻¹⁶ J ; c'est une énergie très élevée pour un seul ion, des dizaines à des milliers de fois supérieure aux quelque 15 eV nécessaires pour déplacer un atome de silicium, d'où les dommages cristallins.

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