Ionenimplantation

Welche Einheit wird üblicherweise für die Beschleunigungsenergie der Ionenimplantation verwendet?

  1. AΩ (Ohm)
  2. BkeV (Kiloelektronenvolt)
  3. CW (Watt)
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Antwort: B. keV (Kiloelektronenvolt)

Die Energie der Ionenimplantation wird in Elektronenvolt angegeben, wobei 1 eV die Energie eines einfach geladenen Ions nach Beschleunigung mit 1 V ist. Der übliche Bereich liegt bei einigen hundert eV bis einigen hundert keV, bei Hochenergie-Implantation bei mehreren MeV. 1 keV sind etwa 1.6×10⁻¹⁶ J; für die Energie eines einzelnen Ions ist das sehr groß und das Zehn- bis Tausendfache der etwa 15 eV, die nötig sind, um ein Siliziumatom herauszuschlagen, sodass Kristallschäden entstehen.

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