離子佈植
表示離子佈植之加速能量時，一般使用的單位為下列何者？
- AΩ（歐姆）
- BkeV（千電子伏特）
- CW（瓦特）
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正確答案：B. keV（千電子伏特）
離子佈植的能量以電子伏特表示，將一價離子以1 V加速時的能量定為1 eV。一般範圍為數百eV～數百keV，高能量佈植則為數MeV。1 keV約為1.6×10⁻¹⁶ J，作為單一離子的能量非常大，是使一個矽原子脫離所需約15 eV的數十～數千倍，因此會對晶體造成損傷。
- A. Ω是電阻的單位。
- B. 正確。以keV等電子伏特表示。
- C. W是功率的單位。