이온 주입

이온 주입의 가속 에너지를 나타낼 때 일반적으로 사용되는 단위는 무엇인가?

  1. AΩ(옴)
  2. BkeV(킬로 전자볼트)
  3. CW(와트)
정답과 해설 보기

정답: B. keV(킬로 전자볼트)

이온 주입의 에너지는 1가 이온을 1 V로 가속했을 때의 에너지를 1 eV로 하는 전자볼트로 나타냅니다. 일반적인 범위는 수백 eV~수백 keV이고, 고에너지 주입에서는 수 MeV입니다. 1 keV는 약 1.6×10⁻¹⁶ J로 이온 1개의 에너지로서는 매우 크며, 실리콘 원자 1개를 튕겨 내는 데 필요한 약 15 eV의 수십~수천 배에 이르기 때문에 결정에 손상이 생깁니다.

  • A. Ω은 저항의 단위입니다.
  • B. 올바릅니다. keV 등의 전자볼트로 나타냅니다.
  • C. W는 전력의 단위입니다.
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