이온 주입

웨이퍼를 기울여 이온 주입을 할 때, 레지스트 등 높은 패턴의 그늘이 되어 주입되지 않는 부분이 생기는 현상을 무엇이라 하는가?

  1. A채널링
  2. B게터링
  3. C섀도잉
정답과 해설 보기

정답: C. 섀도잉

채널링 대책이나 할로 주입에서 웨이퍼를 기울여 주입하면, 키가 큰 레지스트나 게이트의 그늘이 되는 부분에는 이온이 도달하지 못합니다(섀도잉). 주입되는 영역이 좌우 비대칭이 되어, 트랜지스터 특성이 소스 쪽과 드레인 쪽에서 달라지는 원인이 됩니다. 그래서 웨이퍼를 90°씩 회전시켜 4방향에서 주입하는(쿼드 모드) 등의 방법이나, 레지스트 높이와 기울기 각도의 설계를 합니다.

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