이온 주입
얕은 p형 층을 만들기 위해 붕소 단독이 아니라 BF2⁺ 이온을 주입하는 경우가 있는 이유는 무엇인가?
- ABF2⁺가 n형 불순물로 작동하기 때문에
- BBF2⁺ 쪽이 장치를 저렴하게 만들 수 있기 때문에
- C분자 이온이라 무겁기 때문에, 같은 가속 에너지에서도 붕소가 얕게 들어가기 때문에
정답과 해설 보기
정답: C. 분자 이온이라 무겁기 때문에, 같은 가속 에너지에서도 붕소가 얕게 들어가기 때문에
붕소는 질량 11로 가벼워 낮은 에너지에서도 깊이 들어가기 쉬운 불순물입니다. BF2⁺(질량 49)로 주입하면 충돌로 분자가 깨졌을 때 전체 에너지 중 붕소 원자에는 11/49(약 22 %)만 분배되므로 얕게 주입할 수 있습니다. 극히 낮은 에너지의 빔은 공간 전하로 퍼져 전류를 얻기 어렵기 때문에 이 방법이 사용되어 왔습니다. 불소가 비정질화를 돕는 한편, 기포 등의 부작용도 있습니다.