為了形成淺p型層，有時不佈植單獨的硼而是佈植BF2⁺離子，其理由為下列何者？

正確答案：C. 因為是分子離子且較重，即使加速能量相同，硼也會打入較淺

硼的質量為11，是輕且在低能量下也容易打入較深的雜質。若以BF2⁺（質量49）佈植，當碰撞使分子破裂時，整體能量中分配給硼原子的只有11/49（約22%），因此可佈植得較淺。能量極低的離子束會因空間電荷而擴散，不易取得電流，所以長期採用這個方法。氟雖有助於非晶化，但也有氣泡等副作用。