Quel terme désigne la partie des contacts et interconnexions locales reliant les transistors (côté FEOL) à l'interconnexion multicouche ?

Réponse : B. MOL (middle of line)

Les étapes et structures situées entre la partie qui fabrique les transistors (FEOL) et celle qui fabrique l'interconnexion multicouche (BEOL), comme les contacts vers la source, le drain et la grille et les connexions locales, sont appelées MOL (Middle of Line). La résistance des contacts d'une dizaine de nm de diamètre augmentant fortement avec la miniaturisation et influant désormais fortement sur les performances des transistors, des améliorations comme l'introduction du cobalt et du ruthénium ou les contacts sur grille sont en cours.