Procédés d'interconnexion

Quel est l'effet d'une augmentation de l'épaisseur (hauteur) d'une interconnexion à largeur constante ?

  1. ANi la résistance ni la capacité ne changent
  2. BLa résistance et la capacité diminuent
  3. CLa résistance diminue, mais la surface en regard de l'interconnexion voisine augmente et la capacité entre interconnexions augmente
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Réponse : C. La résistance diminue, mais la surface en regard de l'interconnexion voisine augmente et la capacité entre interconnexions augmente

Une interconnexion plus épaisse a une section plus grande et donc une résistance plus faible, mais la surface latérale en regard de l'interconnexion voisine augmente, ce qui accroît la capacité entre interconnexions. Le délai RC étant le produit de la résistance et de la capacité, une épaisseur excessive n'apporte plus d'amélioration et augmente la consommation et la diaphonie. Le rapport épaisseur/largeur (facteur de forme, environ 2) est donc fixé pour chaque couche en tenant compte du compromis délai-consommation-diaphonie.

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