Welcher Begriff bezeichnet den Bereich aus Kontakten und lokalen Leitungen, der Transistoren (FEOL) und Mehrlagenverdrahtung verbindet?

Antwort: B. MOL (Middle of Line)

Die Prozesse und Strukturen zwischen dem Teil, in dem Transistoren gefertigt werden (FEOL), und dem Teil, in dem die Mehrlagenverdrahtung gefertigt wird (BEOL), wie Kontakte zu Source, Drain und Gate sowie lokale Verbindungen, heißen MOL (Middle of Line). Der Widerstand der Kontakte mit einem Durchmesser von über zehn nm steigt durch Miniaturisierung stark an und beeinflusst die Transistorleistung erheblich, weshalb Verbesserungen wie die Einführung von Kobalt und Ruthenium oder Kontakte über dem Gate voranschreiten.