Si l'on divise par deux l'espacement entre interconnexions voisines d'une même couche, que devient approximativement la capacité entre elles ? (approximation par des plaques parallèles)

Réponse : C. Elle est environ doublée

La capacité de plaques parallèles C = εS/d est inversement proportionnelle à l'espacement d ; diviser l'espacement par deux double donc environ la capacité. Lorsque le pas des interconnexions diminue avec la miniaturisation, la capacité latérale devient prépondérante, et le délai, la consommation et la diaphonie augmentent. La capacité étant aussi proportionnelle à la permittivité ε, abaisser celle-ci avec des matériaux low-k ou des air gaps constitue une contre-mesure. Dans les interconnexions réelles, le champ de bord (fringe) s'y ajoute.