Procédés d'interconnexion
Quelle est approximativement la résistance d'une interconnexion de résistivité 2 µΩ·cm, de 1 mm de long, avec une largeur et une épaisseur de 100 nm chacune ?
- AEnviron 2 Ω
- BEnviron 2 kΩ
- CEnviron 2 MΩ
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Réponse : B. Environ 2 kΩ
La résistance vaut R = ρL/(W × T) ; avec ρ = 2×10⁻⁸ Ω·m, L = 1×10⁻³ m et W × T = 1×10⁻¹⁴ m², on obtient R = 2000 Ω (environ 2 kΩ). Même sur une courte distance de 1 mm, une interconnexion de section 100 nm × 100 nm présente une résistance aussi élevée, et combinée à sa capacité (environ 0,2 pF pour 1 mm), le délai RC atteint plusieurs centaines de ps. C'est pourquoi les longues liaisons utilisent les interconnexions épaisses des couches supérieures ou des répéteurs.
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