Interconnectprocessen
Hoe verandert de capaciteit tussen naburige bedradingen in dezelfde laag ongeveer als de bedradingsafstand wordt gehalveerd? (benader als parallelle platen)
- AWordt ongeveer de helft
- BVerandert niet
- CWordt ongeveer 2 keer zo groot
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Wordt ongeveer 2 keer zo groot
De capaciteit van parallelle platen is C = εS/d en omgekeerd evenredig met de afstand d; als de bedradingsafstand wordt gehalveerd, wordt de capaciteit tussen bedradingen dus ongeveer 2 keer zo groot. Als de bedradingspitch door schaalverkleining kleiner wordt, neemt de laterale capaciteit het grootste deel van het totaal in, waardoor vertraging, vermogen en overspraak toenemen. Omdat de capaciteit ook evenredig is met de permittiviteit ε, zijn Low-k-materiaal en air gaps tegenmaatregelen die de permittiviteit verlagen. Bij echte bedrading komt daar nog het randveld (fringe) bij.