Verdrahtungsprozess
Wie ändert sich die Kapazität zwischen benachbarten Leitungen derselben Lage ungefähr, wenn der Leitungsabstand halbiert wird? (Näherung als Plattenkondensator)
- ASie halbiert sich etwa
- BSie ändert sich nicht
- CSie verdoppelt sich etwa
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Antwort: C. Sie verdoppelt sich etwa
Die Kapazität eines Plattenkondensators ist C = εS/d und umgekehrt proportional zum Abstand d; wird der Leitungsabstand halbiert, verdoppelt sich die Kapazität zwischen den Leitungen etwa. Schrumpft der Leitungs-Pitch durch Miniaturisierung, macht die laterale Kapazität den größten Teil der Gesamtkapazität aus, und Verzögerung, Leistungsaufnahme und Übersprechen nehmen zu. Da die Kapazität auch proportional zur Permittivität ε ist, ist die Senkung der Permittivität durch Low-k-Materialien oder Air Gaps eine Gegenmaßnahme. Bei realen Leitungen kommen noch Randfelder (Fringe) hinzu.