Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Welke eis wordt over het algemeen gesteld aan de breedte van de vin om korte-kanaaleffecten bij een FinFET voldoende te onderdrukken?
- AZe mag onafhankelijk van de gatelengte worden gekozen
- BZe moet ruim breder zijn dan de gatelengte
- CZe moet smaller zijn dan de gatelengte
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Ze moet smaller zijn dan de gatelengte
Hoe smaller de vin, hoe beter het elektrische veld van de gates aan beide zijden tot het midden van de vin reikt en hoe beter de lekstroom door delen ver van de gate wordt onderdrukt. Als vuistregel moet de breedte van de vin de helft van de gatelengte tot ongeveer gelijk daaraan of kleiner zijn, en bij geavanceerde generaties zijn vinnen smaller geworden tot circa 5 tot 7 nm. Als ze te smal worden, ontstaan echter problemen met verschuiving van de drempelspanning door kwantumopsluiting, lagere mobiliteit door verstrooiing aan het oppervlak en spreiding in de bewerking.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)