Hoe heet de vormafwijking bij droog etsen waarbij op de bodem van een sleuf bij de zijwand dieper wordt geëtst dan in het midden, zodat een smalle sleuf ontstaat?

Antwoord: A. Microtrenching

Microtrenching is het verschijnsel dat op de bodem van een sleuf of gat bij de zijwand lokaal dieper wordt geëtst. Als oorzaken worden gezien dat ionen die op een hellende zijwand worden gereflecteerd zich in de hoek van de bodem concentreren en dat ionen door lading van de zijwand worden afgebogen. Bij het etsen van gates en STI kan het vanuit de hoek van de bodem de ondergrond doorbreken of problemen veroorzaken bij latere opvulling en veldconcentratie, en wordt het onderdrukt door druk, bias en gascondities aan te passen.