식각
건식 식각에서 홈 바닥의 측벽 가장자리가 중앙보다 깊게 파여 가는 홈이 생기는 형상 이상을 무엇이라고 부르는가?
- A마이크로트렌치
- B보잉
- C마스크 후퇴
정답과 해설 보기
정답: A. 마이크로트렌치
마이크로트렌치는 홈이나 구멍 바닥의 측벽 가장자리가 국소적으로 깊게 파이는 현상입니다. 기울어진 측벽에서 반사된 이온이 바닥 모서리에 집중되는 것이나, 측벽의 대전으로 이온이 휘는 것이 원인으로 생각됩니다. 게이트나 STI 식각에서는 바닥 모서리에서 하지를 뚫거나, 이후의 매립이나 전계 집중 문제를 일으키기 때문에 압력, 바이어스, 가스 조건을 조정하여 억제합니다.
- A. 맞습니다. 바닥 모서리가 국소적으로 깊게 파이는 현상입니다.
- B. 보잉은 측벽의 중간이 통처럼 옆으로 부푸는 형상입니다.
- C. 마스크 후퇴는 마스크가 깎여 치수가 변하는 현상입니다.