ドライエッチングで、溝の底の側壁際が中央より深く掘れて細い溝ができる形状異常を何と呼ぶか。

正解：A. マイクロトレンチ

マイクロトレンチは、溝や穴の底の角の部分が局所的に深く掘れる現象です。側壁で反射したイオンが底の角に集中することなどが原因と考えられ、ゲートのエッチングなどで下地を突き破る原因になるため、条件の調整で抑えます。

• A. 正しい。底の角が局所的に深く掘れる現象です。
• B. ボーイングは側壁の途中が樽のように横に膨らむ形状です。
• C. マスクの後退は、マスクが削れて寸法が変わる現象です。