Nederlands
Menu

Etsen

Welke maatstaf geeft aan hoeveel de zijwand van een door etsen gevormd gat of gevormde sleuf van verticaal afwijkt?

  1. AAspectverhouding
  2. BTapering-hoek (taper angle)
  3. CSelectiviteit
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Tapering-hoek (taper angle)

De taper angle is de hoek die de helling van de door etsen gevormde zijwand weergeeft, en hoe dichter bij verticaal (90°), hoe anisotroper de bewerking is. Bij veel afzetting van beschermende film ontstaat een taps toelopende vorm (kleine hoek). Bij processtappen waarin later film wordt ingevuld, is soms een lichte helling van circa 85° gunstiger om zonder voids te kunnen vullen, terwijl bij gates en fins juist een vorm dichter bij verticaal wordt gekozen om het afmetingsverschil tussen boven en onder te verkleinen; de hoek wordt dus per toepassing geregeld.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Etsen

  1. Welk effect van het toevoegen van een beetje zuurstof aan etsen met fluorhoudende gassen is in het algemeen juist?
  2. Welke uitspraak over de verhouding tussen het aantal ionen en radicalen in een gangbaar plasma voor etsen is juist?
  3. Welke methode meet de elektronentemperatuur en dichtheid van een plasma uit de stroom bij variatie van de spanning op een dunne elektrode die in het plasma wordt gestoken?
  4. Hoe heet de vormafwijking bij droog etsen waarbij op de bodem van een sleuf bij de zijwand dieper wordt geëtst dan in het midden, zodat een smalle sleuf ontstaat?
  5. Als silicium tegelijk wordt blootgesteld aan XeF2-gas en een bundel argonionen, verloopt het etsen veel sneller dan de som van beide afzonderlijk. Welke eigenschap van droog etsen toont dit aan?

Vergelijkingen bij dit onderwerp