表示蝕刻所形成的孔或溝槽的側壁相對於垂直傾斜多少的指標是下列何者？

正確答案：B. 錐角

錐角是表示蝕刻所形成側壁傾斜程度的角度，越接近垂直（90°），表示非等向性越高的加工。保護膜的沉積多時，會形成上寬下窄的形狀（角度較小）。在之後要填入膜的步驟中，有時稍微傾斜至85°左右反而較容易無空隙地填入；相反地，閘極或鰭片為了減少尺寸的上下差異，則會盡量接近垂直，依用途加以控制。

• A. 縱橫比是深度與寬度之比。
• B. 正確。是表示側壁傾斜程度的角度。
• C. 選擇比是膜與遮罩等的蝕刻速率之比。