エッチング

エッチングでできた穴や溝の側壁が垂直からどれだけ傾いているかを表す指標はどれか。

  1. Aアスペクト比
  2. Bテーパー角
  3. C選択比
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正解：B. テーパー角

テーパー角は、エッチングでできた側壁の傾きを表す角度です。垂直(90°)に近いほど異方性の高い加工です。後で膜を埋め込む工程では、少し傾けた方が埋め込みやすい場合もあるため、用途に応じて制御します。

  • A. アスペクト比は、深さと幅の比です。
  • B. 正しい。側壁の傾きを表す角度です。
  • C. 選択比は、膜とマスクなどのエッチング速度の比です。
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