식각으로 만들어진 구멍이나 홈의 측벽이 수직에서 얼마나 기울어져 있는지를 나타내는 지표는?

정답: B. 테이퍼 각

테이퍼 각은 식각으로 만들어진 측벽의 기울기를 나타내는 각도로, 수직(90°)에 가까울수록 이방성이 높은 가공입니다. 보호막 퇴적이 많으면 점점 좁아지는 형태(각도가 작음)가 됩니다. 나중에 막을 매립하는 공정에서는 85° 정도로 약간 기울이는 편이 보이드 없이 매립하기 쉬운 경우도 있고, 반대로 게이트나 핀은 치수의 위아래 차이를 줄이기 위해 수직에 가깝게 하는 등 용도에 따라 제어합니다.

• A. 종횡비는 깊이와 폭의 비입니다.
• B. 맞습니다. 측벽의 기울기를 나타내는 각도입니다.
• C. 선택비는 막과 마스크 등의 식각 속도 비입니다.