식각
건식 식각의 종점 검출에 자주 사용되는 방법은?
- A웨이퍼의 무게를 잰다
- B플라즈마의 발광 스펙트럼 변화를 감시한다
- C식각 후에 육안으로 확인한다
정답과 해설 보기
정답: B. 플라즈마의 발광 스펙트럼 변화를 감시한다
식각 중인 막이 없어지고 하지가 드러나면 플라즈마 속 반응 생성물의 종류와 양이 바뀌어 특정 파장의 발광 강도가 변화합니다. 예를 들어 산화막 식각에서는 CO(483 nm)의 발광이 줄어듭니다. 이 변화를 발광 분광법(OES)으로 감시하면 식각의 종점을 실시간으로 검출할 수 있습니다. 노출되는 면적이 매우 작으면 신호가 약해지므로 간섭계에 의한 막 두께 측정 등도 사용됩니다.