Ätzen

Welche Methode wird häufig zur Endpunkterkennung beim Trockenätzen verwendet?

  1. ADen Wafer wiegen
  2. BÄnderungen des Emissionsspektrums des Plasmas überwachen
  3. CNach dem Ätzen visuell prüfen
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Antwort: B. Änderungen des Emissionsspektrums des Plasmas überwachen

Ist die zu ätzende Schicht abgetragen und die Unterlage liegt frei, ändern sich Art und Menge der Reaktionsprodukte im Plasma, und die Emissionsintensität bei bestimmten Wellenlängen ändert sich. Beim Ätzen von Oxid nimmt beispielsweise die CO-Emission (483 nm) ab. Durch Überwachung dieser Änderung mit optischer Emissionsspektroskopie (OES) lässt sich der Ätzendpunkt in Echtzeit erkennen. Ist die freigelegte Fläche sehr klein, wird das Signal schwach, weshalb auch Schichtdickenmessungen mit Interferometern verwendet werden.

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