Quel nettoyage, étudié et industrialisé pour éliminer les particules sans faire s'effondrer les motifs fins, projette de fines particules de dioxyde de carbone, d'argon, etc. à très basse température ?

Réponse : C. Nettoyage par aérosol cryogénique

Le nettoyage par aérosol cryogénique éjecte sous vide, par une buse, de l'argon, de l'azote ou du dioxyde de carbone pressurisés et refroidis ; la détente forme de fines particules solides (aérosol) projetées sur la plaquette, dont l'impact chasse les particules de surface. Sans liquide, il n'y a ni effondrement des motifs au séchage ni dommages ou corrosion chimiques, et les particules se subliment sans laisser de résidu ; il convient donc aux microstructures et aux interconnexions en cuivre.