Quel est le rôle de l'anneau de retenue qui entoure la plaquette dans la tête de polissage de CMP ?

Réponse : C. Retenir la plaquette pour qu'elle ne s'échappe pas pendant le polissage et limiter la non-uniformité de polissage en périphérie

L'anneau de retenue est un anneau en résine entourant la périphérie de la plaquette tenue par la tête de polissage. Il empêche la plaquette de s'échapper latéralement pendant le polissage et, en pressant le tampon légèrement au-delà de la plaquette, limite la déformation du tampon qui se soulèverait ou s'enfoncerait au bord, réduisant la non-uniformité du polissage sur les quelques mm de périphérie. L'anneau étant lui-même usé par le tampon, il est remplacé périodiquement.