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CMP et nettoyage

Dans un liquide de nettoyage alcalin comme le SC-1, pourquoi les particules une fois détachées se redéposent-elles difficilement ?

  1. AParce que la viscosité du liquide est très élevée
  2. BParce que la surface de la plaquette et les particules sont chargées du même signe et se repoussent
  3. CParce que les particules se dissolvent dans le liquide et disparaissent
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Réponse : B. Parce que la surface de la plaquette et les particules sont chargées du même signe et se repoussent

En milieu alcalin, la surface du silicium et celle de nombreuses particules (silice, nitrures, etc.) se chargent toutes négativement (potentiel zêta négatif). Les charges de même signe se repoussant, les particules détachées de la surface s'y redéposent difficilement. En milieu acide, au contraire, le signe du potentiel zêta varie selon les particules et la redéposition est plus fréquente. C'est l'une des raisons de l'efficacité du SC-1 pour l'élimination des particules.

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