Wat is de rol van de retainer ring die in de CMP-polijstkop rond de wafer zit?

Antwoord: C. De wafer tijdens het polijsten vasthouden zodat hij er niet uit schiet en variatie in polijsten aan de waferrand onderdrukken

De retainer ring is een kunststof ring rond de omtrek van de wafer die in de polijstkop wordt vastgehouden. Hij voorkomt dat de wafer tijdens het polijsten zijwaarts wegschiet en houdt de pad iets buiten de wafer omlaag, zodat vervorming waarbij de pad aan de rand van de wafer omhoog komt of inzakt wordt onderdrukt en de variatie van de polijstdikte over enkele mm aan de omtrek kleiner wordt. De ring zelf wordt door de pad weggeslepen en slijt, zodat hij periodiek wordt vervangen.